潔凈室節(jié)能的九大技巧
潔凈室里存在大量可以節(jié)約能源的地方,例如暖氣、通風(fēng)和空調(diào)、工藝冷卻、壓縮空氣以及一些其他的設(shè)施
HVAC系統(tǒng)消耗的電力過了整座晶片制造廠用電量的一半。之所以造成大量浪費電力及HVAC的容量過剩,很大程度上是因為在設(shè)計和建造工廠時走捷徑,盡可能地壓縮前期投入,而不顧后期運行費用。率的設(shè)計和率設(shè)備需要很大的前期投入。那種“小處節(jié)約大處浪費”的所謂捷徑和削減成本,會造成工廠的運行性能降低和能耗增加。
對已建成工廠的改建通常會陷入到毫無意義的經(jīng)濟漩渦當(dāng)中。升級的投資收回率通常比直接購買新設(shè)備要高很多。大部分工廠設(shè)備翻新的投資回收期不過兩年——也就是說,通常投資收回率至少是50%,對照投資新的固定資產(chǎn),則只有10%到15%。這些情況降低了企業(yè)的競爭力和投資股東的興趣。在今天高度發(fā)達的工業(yè)中,工廠運行和產(chǎn)品設(shè)計一樣需要改革。
率地利用能源的例子很多。挖掘浪費的能源比賣產(chǎn)品更能增加利潤,因為節(jié)約下來的錢在zui終效益中馬上就能體現(xiàn)出來。雖然能源的成本占晶片產(chǎn)品成本占不到百分之二,但是電能卻是晶片制造商在運行中的開支卻是zui大的,每座工廠每年總共要消耗上百萬美元的電能。在新建工廠時,節(jié)能措施可以節(jié)約資本和建造時間。雖然初步設(shè)計報價昂貴,但是經(jīng)濟翻新的可能性仍然存在。設(shè)備翻新的投資回收期不過兩年,總體而言,在某種程度上投資收回率是較高的。
下面是新建和現(xiàn)有工廠解決能效的十個技巧,不但了可靠的技術(shù),風(fēng)險也zui小、而且費用低或者不需要花錢,而投資回收期又很吸引人。
一、 低斷面風(fēng)速設(shè)計 斷面風(fēng)速就是空氣處理部件中空氣經(jīng)過過濾器或者加熱/冷卻盤管的速度。 低斷面風(fēng)速(LFV)設(shè)計使用更大的空氣處理器和較小的風(fēng)機,從而降低空氣的流速,降低能耗和設(shè)備壽 命成本。
大部分工程師根據(jù)“經(jīng)驗”把空氣處理器設(shè)計成500英寸/分鐘。這樣的設(shè)計雖然節(jié)省時間,但是卻增加了運作費用。在低斷面風(fēng)速(LFV)設(shè)計中,使用更大的空氣處理器和更小的風(fēng)機,從而降低空氣的流速,降低能耗和設(shè)壽命成本。
壓降決定了風(fēng)機的能量損耗。由“平方定則”可知壓降與速度下降的平方成正比。如果斷面風(fēng)速降低20%,那么壓降將下降36%;如果斷面風(fēng)速降低50%,壓降將下降四分之三。根據(jù)“立方定則”,風(fēng)機能耗的變化與流量變化的立方成正比。如果空氣流量降低50%,風(fēng)機能耗將下降88%。
因此,較大尺寸的空氣處理器、較大的過濾器和盤管面積消耗較少的風(fēng)機能量,可以使用比較小的風(fēng)機和馬達。小風(fēng)機給空氣添加的熱量比較少,降低了冷卻的難度。厚度小的盤管更容易清洗、工作效率更高,所以冷凍水的溫度可以更高。過濾器在低斷面風(fēng)速情況下,工作效果更好、壽命更長。
LFV設(shè)計減少了空氣和水的壓降,減小了冷卻盤管的帶水量。流線型設(shè)計,幾乎沒有尖角,從而使壓降減少10%到15%。
LFV設(shè)計也可以把壓降降低四分之一。目標是使能量損耗降低至少25%,減小變速風(fēng)機的大小。*的斷面風(fēng)速范圍是250-450英尺/分鐘,具體取決于使用情況和能量消耗。
二、馬達效率
馬達消耗了潔凈室的大部分電能。連續(xù)運轉(zhuǎn)的馬達每月消耗大量的電力。 適當(dāng)?shù)靥崧省⑦m當(dāng)?shù)卣{(diào)節(jié)尺寸,在翻新后,經(jīng)濟效果多半是不錯的。效率增加幾個百分點,利潤就可增加。
使用的馬達,不一定會花費太多。率意味著zui小,在改變馬達的尺寸之前先盡量減小負荷。在輸出量變化時,利用變速驅(qū)動(VSD)可以提高操作效率。
三、換氣次數(shù)
潔凈室維持一定的空氣流量來保持清潔度和顆粒數(shù)。流量根據(jù)每小時的換氣次數(shù)來確定,同時這也決定了風(fēng)機尺寸、建筑構(gòu)型和能量消耗。在保持潔凈度的前提條件下,空氣流速的降低可以降低建造及能耗成本。換氣次數(shù)降低20%就可以使風(fēng)機的尺寸降低50%??諝鉂崈舳缺裙?jié)約能耗更重要,但是的成果已經(jīng)有降低潔凈成本的記載了。
關(guān)于*換氣次數(shù)還沒有達成共識。許多原則都已過時,是建立在老觀念上,采用低效的空氣過濾器。調(diào)查顯示,ISO第5級標準的潔凈室的換氣次數(shù)變化范圍是從250到700以上。
美國的一所國家實驗室正在確定ISO第5級潔凈室的標準。顯示,實際換氣次數(shù)范圍是90到250——比操作規(guī)程標準低很多,而且不會影響生產(chǎn)和潔凈度。因此建議ISO第5級潔凈室的換氣次數(shù)大約是200,保守的上限是300。
四、變速驅(qū)動的冷凍機
變速驅(qū)動冷凍機能節(jié)省大量的能量和金錢。許多潔凈室的設(shè)計人員和操作人員認為,沒有必要使用變速驅(qū)動冷凍機,因為負荷通常是恒定的,多級冷凍機機組通??刂茷楦哓摵蛇\轉(zhuǎn)。但是負荷恒定的冷凍機通常工作在滿負荷以下。變速驅(qū)動冷凍機通常工作在全負荷的90%-95%以節(jié)省能量。一臺1000噸的冷凍機穩(wěn)定工作在滿負荷的70%,如果使用了變速驅(qū)動,每年就可節(jié)省兩萬到三萬美元。根據(jù)生產(chǎn)商的數(shù)據(jù),電能的是0.05美元/千瓦時,這樣大約一年就可以回收成本。
多級冷凍機冷水式機組很少高負荷運轉(zhuǎn)。通常情況下,現(xiàn)場負荷通常不是正好匹配機組的能級變化。許多操作人員運行額外的冷凍機以求可靠,一旦某個冷凍機發(fā)生故障,其它的冷凍機可以立刻補充,接替其全部負荷,因此冷水式機組經(jīng)常是讓冷凍機在制冷能力的60%到80%運轉(zhuǎn)。
在購買新冷凍機的時候,購買變速驅(qū)動冷凍機是劃算的。用變速驅(qū)動冷凍機可降低能耗,同時讓其他冷凍機可靠性運行。有許多的和實驗證明,變速驅(qū)動冷凍機的效果是很好的。二十多年來,變速驅(qū)動冷凍機制造廠商制造出更可靠性的產(chǎn)品,用在新建的和升級的潔凈工廠里面。
五、冷卻塔的優(yōu)化
冷卻塔通過降低冷凝水的供給溫度來提高冷凍機效率。
從冷凍機中每輸出一噸冷凍水,一般的冷卻塔需要100瓦的能量。效率提高可高達十倍,例如采用更為接近入口、出口溫差、更有效的氣流設(shè)計、的配有變速驅(qū)動馬達的風(fēng)機、減少高度以限制泵的揚程以及增加填充面積等。
不同的外界空氣的濕溫度和冷卻水的供給溫度,這個溫差有所不同,應(yīng)該控制在3oF到5oF之間。
所有的冷卻塔都應(yīng)該并聯(lián)工作,在表面積增加的情況下蒸發(fā)冷卻達到*。
許多任務(wù)廠使用多級塔,它們使用單速或雙速的風(fēng)機,并且把塔分成不同的階段。一個塔全速運轉(zhuǎn)直到負荷過它的承受能力,然后另一個塔開啟,它工作在較低或較高的功率狀態(tài)。這個方案可以導(dǎo)致冷卻塔負荷出現(xiàn)較大的、不斷遞增的變化,頻繁地低于或者過要求的額定值,從而出現(xiàn)鋸齒狀的能耗狀況,降低冷凍機的效率。
因而所有的冷卻塔都應(yīng)該并行工作,在表面積增加的情況下蒸發(fā)冷卻達到*。如果更多的塔在低速狀態(tài)下工作,使用變速驅(qū)動調(diào)節(jié)風(fēng)機的速度,隨負載變化而調(diào)整,根據(jù)“立方定律”,在較低的速度下風(fēng)機可以節(jié)省能量。
工廠通常采用專門一個冷卻塔為每一個冷凍機供應(yīng)冷凝水。這種構(gòu)想不允許冷凍機利用冷卻塔并行運作。只有為冷凝水系統(tǒng)加上普通的集管才允許冷卻塔并行運行,不考慮冷卻要求。
六、熱量回收
許多任務(wù)廠都要消耗大量的能量來制熱,同時又消耗更多的能量從工藝過程中移除“廢”熱,卻沒有把這兩個過程結(jié)合起來?;厥盏臒崃靠梢杂脕眍A(yù)熱新風(fēng),送風(fēng)再熱,以及其它用途。AHU預(yù)熱盤管可以用廢水預(yù)熱外來的空氣(在炎熱的天氣下也可預(yù)冷)。
再熱盤管可以從空氣壓縮機或者冷凍機的冷凝器回水中回收廢熱,同時節(jié)省了冷凍機能量和鍋爐燃料。熱交換器可以使不能混合或者直接接觸的不同介質(zhì)進行熱量交換。
七、雙溫度冷凍循環(huán) 冷凍系統(tǒng)通常設(shè)計成可以承受zui大負荷,不管zui大負荷發(fā)生得是否頻繁。流程中處于冷凍循環(huán)的冷凍水溫度,是由所有負荷中只占一小部分的端熱負荷來確定,這只是許多情況中的一兩種。這會造成冷凍能力過剩,在負荷不足的情況下效率低下。當(dāng)供給的冷凍水的溫度較低時,冷凍機的工作效率也會很低。平均來說,冷凍水的供給溫度每增加一華氏度,冷凍器效率就提高一個百分點以上。如果劃分負荷,兩個不同溫度的冷凍水,那么工作效率將會更高。
八、自由冷卻 使用外面的空氣進行冷卻是經(jīng)濟的,在商業(yè)大樓得到廣泛采用。另外一種 “自由冷卻”方案適用于需要恒定的冷凍水以及風(fēng)機盤管的系統(tǒng),比如潔凈室。
自由冷卻技術(shù)直接利用處在低溫或低濕度環(huán)境中的冷卻塔制造冷凍水,減少或取代冷凍機的使用。根據(jù)天氣的變化,使用自由冷卻系統(tǒng)可以把冷卻系統(tǒng)的耗能減少到十分之一(從0.5千瓦/冷噸減少到0.05千瓦/冷噸)。
直接與工藝負荷進行熱交換,可以使自由冷卻技術(shù)利用外面溫度較高的大氣,要比用在二級或者三級熱交換系統(tǒng)進行熱交換的時間長出若干個小時。由板式熱交換器分隔開來的冷卻水和冷凝水之間的溫差很接近(比如只有2oF)。當(dāng)溫度和濕度相當(dāng)?shù)蜁r,冷卻塔可以獨立運行,無需風(fēng)機。根據(jù)溫濕圖,很多地方每年有很多的時間都可以進行自由冷卻。
九、離心式壓縮機
空氣壓縮機的改進節(jié)約了大量能源。離心式壓縮機是無油的,比螺桿式壓縮機的效率高很多。但是離心式壓縮機不能空轉(zhuǎn),這使得他們在負載低的情況下效率很低。zui有效和經(jīng)濟的辦法是離心式和螺桿式壓縮機兩者結(jié)合使用。選用離心機組滿足基本負荷,再用小一些的螺桿式機組滿足峰值負荷。壓縮機組應(yīng)該配有熱回收系統(tǒng)。
另一種方案是整個現(xiàn)場用的離心式壓縮機作為一個大的壓縮空氣裝置,外加大的儲氣罐和連接管道作為緩沖器。這樣可以保證整個工廠維持一個恒定載荷,減輕加載與卸載對設(shè)備的損耗,并且降低能量浪費。
SW-CJ-2FB雙人單面水平、垂直兩用工作臺
這是一種廣泛用于醫(yī)療衛(wèi)生、制藥、化學(xué)實驗等領(lǐng)域,并無菌無塵潔凈環(huán)境的凈化工作臺
特點
1、適用于不同工藝要求下的兩種氣流風(fēng)向、水平流、垂直流可任意切換
2、采用可調(diào)風(fēng)量風(fēng)機系統(tǒng),輕觸型開關(guān)及無調(diào)節(jié)電壓大小。保證工作區(qū)風(fēng)速始終處于理想狀態(tài)。
技術(shù)參數(shù)
型號 | SW-CJ-1FB | SW-CJ-2FB | |
潔凈度 | 100級@≥0.5μm(美聯(lián)邦209E) | ||
菌落數(shù) | <0.5個/皿.時(直徑90mm培養(yǎng)平皿) | ||
噪音 | ≤62dB(A) | ||
平均風(fēng)速 | 0.25-0.45m/s | ||
振動半峰值 | ≤0.5μm(X·Y·) | ||
照度 | ≥300LX | ||
電源 | AC,單相220V/50H | ||
zui大功耗 | 330W | 400W | |
重量 | 150KG | 300KG | |
工作尺寸 | 870*500*620mm | 1360*500*620mm | |
外形尺寸 | 1050*760*1800mm | 1600*760*1800mm | |
過濾器規(guī)格及數(shù)量 | 865*600*38*1 865*484*38*1 | 1320*600*38*1 484*600*38*1 | |
熒光燈/紫外燈規(guī)格及量 | 20W*1/20W*1 | 30W*1/30W*1 |